等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的.

等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

主要部件	指標(biāo)名稱	參數(shù)指標(biāo)
清洗倉(cāng)體	清洗倉(cāng)材質(zhì)	不銹鋼
	清洗倉(cāng)尺寸	直徑120mm
高頻電源	電源特性	該電源為自主研發(fā)40K高頻電源，結(jié)構(gòu)可靠，性能強(qiáng)大。
	電源優(yōu)勢(shì)	●可長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行 ● 操作簡(jiǎn)單靈活 ● 電源效率高、發(fā)熱少
	射頻功率	0~500W連續(xù)可調(diào)
	信號(hào)頻率	40kHz
	功率穩(wěn)定度	±0.1%
	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
氣體測(cè)量	測(cè)量部件	浮子流量計(jì)
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空獲取	真空測(cè)量	電阻式真空計(jì)
	真空抽取	雙極旋片泵
	抽氣速率	50Hz時(shí)為：1.1L/s；60Hz時(shí)為：1.3L/s。
	真空量程	1Pa～100000Pa
	極限真空	1Pa
	電機(jī)噪音	0
	管道接口	進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	電機(jī)功率	400W
其它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機(jī)功率	800W
	使用溫度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機(jī)尺寸	600mmX500mmX350mm
	整機(jī)重量	50kg（含包裝）

等離子清洗機(jī)應(yīng)該領(lǐng)域：

等離子清洗處理可去除納米級(jí)污染并改變表面化學(xué)性質(zhì)，而不會(huì)影響散裝材料的性能。等離子清洗處理在接近環(huán)境溫度下進(jìn)行，從而將熱敏材料損壞的風(fēng)險(xiǎn)降至*低。根據(jù)所使用的工藝氣體和工藝條件，等離子清洗處理可用于清潔，活化，**和表面改性，可應(yīng)用于各種材料以及復(fù)雜的表面幾何形狀和各種應(yīng)用領(lǐng)域，包括材料科學(xué)，聚合物科學(xué)，生物醫(yī)學(xué)材料，微流體，光學(xué)，顯微鏡，牙科，醫(yī)學(xué)研究，精密元器件包含半導(dǎo)體、晶體、電阻、電容、PCB板、IC芯片、接插件、硅片、三極管、電子線路板、電腦主板、壓電陶瓷基片、顯像管等電子器件生產(chǎn)加工過程工序間的清洗。

金屬：去除金屬表面的油脂,油污等有機(jī)物及氧化層；
汽車制造：用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理；
紡織品生產(chǎn)：用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理；
生物醫(yī)療：培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導(dǎo)管和各種材料的親潤(rùn)，交合涂覆前處理；
航空航天：絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理；
電子：線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進(jìn)可焊性；
半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預(yù)處理；
LED：支架清洗封裝前預(yù)處理；
塑料橡膠：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷